本發(fā)明主要適用于β－氮化硅的燃燒合成。采用燃燒合成工藝或自蔓延高溫合成工藝制備氮化硅粉末。本發(fā)明的技術特點是把工業(yè)原料硅粉與氮化硅稀釋劑的混合料磨細至10μm以下，用2%～8%PVA水溶液造粒，然后采用常規(guī)燃燒合成工藝合成氮化硅及破碎至亞微米級粉末。采用本發(fā)明工藝時，能使細粒硅粉得到充分的氮化，并縮短了合成時間40%～60％。合成后氮化硅中游離硅低，同時也保證了高的氮氣滲透率及合成工藝的穩(wěn)定性，提高了產品的合格率。